TY - CONF
TI - Μελέτη διεργασιών ρητίνης χημικής ενίσχυσης εποξειδικής βάσης για ηλεκτρονική λιθογραφία διαστάσεων <0,2μm
AU - Αργείτης, Π.
AU - Ράπτης, Ι.
AU - Γλέζος, Ν.
AU - Αϊδίνης, Κ.
AU - Χατζάκης, Μ.
AU - Everett, J.
PY - 1995
SP - 468-471
T2 - 16ο Πανελλήνιο Συνέδριο Χημείας. Χημεία και ποιότητα ζωής. Πρακτικά (τ. 1)
ER -