TY - THES
TI - SIMULATION OF NANOSCALE ROUGHNESS EVOLUTION OF SILICON SURFACES UNDER CHLORINE PLASMAS
AU - Αντωνίου Ηρώ-Μαρία
PY - 2018
C1 - Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών
ER -