TY - THES TI - Προσομοίωση διεργασίας ιονοβολής επιφανειών με δέσμη ιόντων υπό ταυτόχρονη απόθεση: Διερεύνηση των μηχανισμών δημιουργίας οργανωμένων μορφολογιών AU - Τερζόπουλος Τρύφων PY - 2018 C1 - Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών ER -