Μελέτη ατελειών σε Si και Si1-xGex

Διδακτορική Διατριβή uoadl:1309021 569 Αναγνώσεις

Μονάδα:
Τομέας Φυσικής Στερεάς Κατάστασης
Βιβλιοθήκη Σχολής Θετικών Επιστημών
Ημερομηνία κατάθεσης:
2014-06-23
Έτος εκπόνησης:
2014
Συγγραφέας:
Σγούρου Ευστρατία
Στοιχεία επταμελούς επιτροπής:
Χαράλαμπος Λόντος Καθηγητής (Επιβλέπων),Παναγιώτης Βαρώτσος Καθηγητής, Νικόλαος Σαρλής Αναπληρωτής Καθηγητής
Πρωτότυπος Τίτλος:
Μελέτη ατελειών σε Si και Si1-xGex
Γλώσσες διατριβής:
Ελληνικά
Μεταφρασμένος τίτλος:
Study of defects in Si and Si1-xGex
Περίληψη:
Οι ημιαγωγοί και ιδιαίτερα το πυρίτιο αποτελούν τη βάση της σύγχρονης
ηλεκτρονικής βιομηχανίας. Κατά τις διαδικασίες κατασκευής, επεξεργασίας καθώς
και λειτουργίας των ημιαγωγικών συσκευών εισάγονται στα υλικά ατέλειες, οι
οποίες τις περισσότερες φορές έχουν αρνητικό αποτέλεσμα στην απόδοση των
συσκευών. Καθίσταται επομένως σαφές ότι η γνώση της δομής, των ιδιοτήτων, και
της συμπεριφοράς των ατελειών βοηθά στην κατανόησή τους και επομένως στον
έλεγχό τους με στόχο τη βελτίωση των ιδιοτήτων του υλικού προς επιθυμητές
κατευθύνσεις για διάφορες εφαρμογές. Σε πολλές περιπτώσεις, οι ηλεκτρονικές
συσκευές λειτουργούν υπό συνθήκες ακτινοβόλησης (π.χ ανιχνευτές ακτινοβολίας).
Mετά από σύντομο χρονικό διάστημα παρατηρείται μείωση της απόδοσης των
συσκευών, λόγω υποβάθμισης της ποιότητας του πυριτίου. Έτσι ανακύπτουν
προβλήματα που σχετίζονται με την ασφάλεια των εργαζομένων, την απόδοση αλλά
και τη φερεγγυότητα των συσκευών ελέγχου. Η επίλυση τέτοιων προβλημάτων, που
ονομάζονται «Βελτίωση της αντίστασης συσκευών λειτουργούντων υπό συνθήκες
ακτινοβόλησης» αποτελεί πρόκληση για την επιστήμη και την τεχνολογία. Ένας
τρόπος για να ελαττωθεί και να ελεγχθεί η παραγωγή των ανεπιθύμητων ατελειών,
που αποτελούν σημαντικά κέντρα επανασύνδεσης φορέων, είναι η επιλεκτική
εισαγωγή προσμίξεων. Τέτοιες προσμίξεις είναι το γερμάνιο, ο κασσίτερος και ο
μόλυβδος, που ανήκουν στην ίδια ομάδα του περιοδικού συστήματος με το Si και
συνεπώς είναι ισοσθενή με αυτό.
Λέξεις-κλειδιά:
Ατέλειες, Πυρίτιο, Οξυγόνο , 'Ανθρακας, Ακτινοβόληση
Ευρετήριο:
Όχι
Αρ. σελίδων ευρετηρίου:
0
Εικονογραφημένη:
Ναι
Αρ. βιβλιογραφικών αναφορών:
370
Αριθμός σελίδων:
227

document.pdf
8 MB
Δεν επιτρέπεται η πρόσβαση στο αρχείο. H πρόσβαση επιτρέπεται μόνο εντός του δικτύου του ΕΚΠΑ.