Μικροφασικός διαχωρισμός δισυσταδικών συμπολυμερών και χρήση τους στη bottom-up λιθογραφία

Διπλωματική Εργασία uoadl:1319053 91 Αναγνώσεις

Μονάδα:
Κατεύθυνση Επιστήμη Πολυμερών και Εφαρμογές της
Βιβλιοθήκη Σχολής Θετικών Επιστημών
Ημερομηνία κατάθεσης:
2015-10-21
Έτος εκπόνησης:
2015
Συγγραφέας:
Νίκα Αναστασία
Στοιχεία επιβλεπόντων καθηγητών:
Μαργαρίτα Χατζηχρηστίδη Επίκ. Καθηγήτρια
Πρωτότυπος Τίτλος:
Μικροφασικός διαχωρισμός δισυσταδικών συμπολυμερών και χρήση τους στη bottom-up λιθογραφία
Γλώσσες εργασίας:
Ελληνικά
Μεταφρασμένος τίτλος:
Self-assembly of block copolymers and their application in bottom-up lithography
Περίληψη:
Τα συμπολυμερή κατά συστάδες έχουν κεντρίσει το ενδιαφέρον αρκετών ερευνητών,
όχι μόνο για το γεγονός ότι τα τμήματα από τα οποία αποτελούνται βρίσκονται στη
νανο-κλίμακα, αλλά λόγω των ποικίλων φυσικών και μηχανικών ιδιοτήτων που
εμφανίζουν, εξαιτίας της ικανότητάς τους να αυτο-οργανώνονται σε διάφορες
μορφολογίες.
Σκοπός της μεταπτυχιακής εργασίας, είναι ο μικροφασικός διαχωρισμός των κατά
συστάδες συμπολυμερών, η παρατήρηση των νανοδομών που δημιουργούνται κατά τον
μικροφασικό διαχωρισμό με χρήση της μικροσκοπίας ατομικής δύναμης και η μελέτη
της λιθογραφικής συμπεριφοράς των κατά συστάδες συμπολυμερών.
Το δισυσταδικό συμπολυμερές, που χρησιμοποιήθηκε, είναι ο τεταρτοταγοποιημένος
πολυ[μεθακρυλικός 2-(διμεθυλαμινο) αιθυλεστέρας] με δεύτερη συστάδα
πολυ(μεθακρυλικό 2-τετραϋδροπυρανυλεστέρα) (qPDMAEMA-b-PTHPMA), συντέθηκε με
πολυμερισμό μεταφοράς ομάδας και χαρακτηρίστηκε με πυρηνικό μαγνητικό
συντονισμό, χρωματογραφία αποκλεισμού μεγεθών και φασματοσκοπία υπερύθρου.
Πρόκειται για ένα αμφίφιλο κατά συστάδες συμπολυμερές, όπου η συστάδα του
qPDMAEMA είναι υδρόφιλη ενώ η συστάδα του PTHPMA είναι υδρόφοβη.
Στη συνέχεια, δημιουργήθηκαν λεπτά υμένια με περιστροφική εναπόθεση διαλύματος
του συμπολυμερούς, πάνω σε πυριτικά υποστρώματα καλυμμένα με SiO2 ή με το
τυχαίο συμπολυμερές πολυ[μεθακρυλικός 2-(διμεθυλαμινο) αιθυλεστέρας] –
πολυ(μεθακρυλικός 2-τετραϋδροπυρανυλεστέρας) - πολυ(μεθακρυλικός
2-υδροξυαιθυλεστέρας) (qPDMAEMA-PTHPMA-PHEMA) (primer). Με τη διαδικασία
ανόπτησης των λεπτών υμενίων με ατμούς διαλύτη, οι πολυμερικές αλυσίδες
υπόκεινται σε μικροφασικό διαχωρισμό. Προέκυψε φυλλοειδής μορφολογία κάθετη ως
προς υπόστρωμα για την πυριτική επιφάνεια, που ήταν καλυμμένη με primer και
φυλλοειδής μορφολογία παράλληλη ως προς το υπόστρωμα για την πυριτική
επιφάνεια, που ήταν καλυμμένη με SiO2. Οι μορφολογίες ανιχνεύτηκαν με
μικροσκοπία ατομικής δύναμης. Επίσης, μελετήθηκε η λιθογραφική συμπεριφορά του
συμπολυμερούς.
Λέξεις-κλειδιά:
Αυτο-οργάνωση, qPDMAEMA, PTHPMA, Πολυμερισμός μεταφοράς ομάδας, Φυλλοειδής μορφολογία
Ευρετήριο:
Ναι
Αρ. σελίδων ευρετηρίου:
13-18
Εικονογραφημένη:
Ναι
Αρ. βιβλιογραφικών αναφορών:
101
Αριθμός σελίδων:
111

document.pdf
2 MB
Δεν επιτρέπεται η πρόσβαση στο αρχείο.