Pergamos - Library and Information Center of National and Kapodistrian University of Athens

Conference Paper uoadl:1051860 224 Read counter

Original Title:

Μελέτη διεργασιών ρητίνης χημικής ενίσχυσης εποξειδικής βάσης για ηλεκτρονική λιθογραφία διαστάσεων <0,2μm

Languages of Item:

Greek
English

Creator:

Αργείτης, Π.
Ράπτης, Ι.
Γλέζος, Ν.
Αϊδίνης, Κ.
Χατζάκης, Μ.
Everett, J.

Affiliation:

ΕΚΕΦΕ "Δημόκριτος". Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής

Abstract:

Empty abstract

Main subject category:

Chemical Engineering and Materials Science

Keywords:

Χημική τεχνολογία

Pages (from-to):

468-471

Notes:

Περιλαμβάνει περίληψη στα αγγλικά

Persistent URL:

https://pergamos.lib.uoa.gr/uoa/dl/object/1051860