Πρωτότυπος Τίτλος:
Μελέτη διεργασιών ρητίνης χημικής ενίσχυσης εποξειδικής βάσης για ηλεκτρονική λιθογραφία διαστάσεων <0,2μm
Γλώσσες Τεκμηρίου:
Ελληνικά
Αγγλικά
Δημιουργός:
Αργείτης, Π.
Ράπτης, Ι.
Γλέζος, Ν.
Αϊδίνης, Κ.
Χατζάκης, Μ.
Everett, J.
Affiliation:
ΕΚΕΦΕ "Δημόκριτος". Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής
Περίληψη:
Δεν υπάρχει περίληψη
Κύρια θεματική κατηγορία:
Χημική Μηχανική και Τεχνολογία Υλικών
Λέξεις-κλειδιά:
Χημική τεχνολογία
Σελίδες (από-έως):
468-471
Σημειώσεις:
Περιλαμβάνει περίληψη στα αγγλικά
