Προσομοίωση πλάσματος τύπου τζετ σε αντιδραστήρα χωρητικής σύζευξης

Διπλωματική Εργασία uoadl:1759083 357 Αναγνώσεις

Μονάδα:
Κατεύθυνση Τεχνολογίας Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων
Πληροφορική
Ημερομηνία κατάθεσης:
2017-07-28
Έτος εκπόνησης:
2017
Συγγραφέας:
Πολιτάκης Δημήτριος
Στοιχεία επιβλεπόντων καθηγητών:
Γεώργιος Κόκκορης, Συνεργαζόμενος Ερευνητής, Ινστιτούτο Νανοεπιστήμης & Νανοτεχνολογίας, ΕΚΕΦΕ Δημόκριτος
Πρωτότυπος Τίτλος:
Προσομοίωση πλάσματος τύπου τζετ σε αντιδραστήρα χωρητικής σύζευξης
Γλώσσες εργασίας:
Ελληνικά
Μεταφρασμένος τίτλος:
Προσομοίωση πλάσματος τύπου τζετ σε αντιδραστήρα χωρητικής σύζευξης
Περίληψη:
Οι αντιδραστήρες πλάσματος ατμοσφαιρικής πίεσης χρησιμοποιούνται τα τελευταία χρόνια σε πληθώρα εφαρμογών βιοϊατρικής, επεξεργασίας υλικών και απόθεσης υμενίων. Μία κατηγορία αντιδραστήρων ατμοσφαιρικής πίεσης είναι οι αντιδραστήρες πλάσματος τύπου τζετ.
Με στόχο τον υπολογισμό των πυκνοτήτων των δραστικών συστατικών που παράγονται σε πλάσμα τύπου τζετ, στην παρούσα εργασία γίνεται προσομοίωση πλάσματος τύπου τζετ σε αντιδραστήρα χωρητικής σύζευξης ραδιοσυχνοτήτων. Διατυπώνονται α) το μοντέλο πλάσματος (το οποίο επιλύεται μόνο στην περιοχή μεταξύ των ηλεκτροδίων του αντιδραστήρα) και β) το μοντέλο ουδετέρων συστατικών. Τα δύο μοντέλα επιλύονται αποσυζευγμένα για τη μείωση του υπολογιστικού κόστους. Η αποσύζευξη προϋποθέτει ότι ηλεκτρόνια και ιόντα δεν εξέρχονται από την περιοχή μεταξύ των ηλεκτροδίων καθώς συγκρατούνται από το ηλεκτρικό πεδίο στον αντιδραστήρα το οποίο είναι κάθετο στην κατεύθυνση της ροής του αερίου. Η αριθμητική επίλυση των μοντέλων γίνεται με εμπορικό κώδικα.
Τα μοντέλα εφαρμόζονται σε πλάσμα He με μικρές προσμίξεις O2 (<1.2%). Τα αποτελέσματα του μοντέλου πλάσματος αξιολογούνται μέσω σύγκρισης με αποτελέσματα προσομοίωσης από τη βιβλιογραφία. Προβλέπεται ότι αύξηση της πρόσμιξης O2 πάνω από 1% οδηγεί σε πολύ χαμηλές πυκνότητες ηλεκτρονίων. Τα αποτελέσματα του μοντέλου των ουδετέρων συστατικών, και πιο συγκεκριμένα οι πυκνότητες του O και Ο3, αξιολογούνται μέσω σύγκρισης με μετρήσεις φασματογράφου μάζας από τη βιβλιογραφία.
Κύρια θεματική κατηγορία:
Τεχνολογία – Πληροφορική
Λέξεις-κλειδιά:
πλάσμα τύπου τζετ, προσομοίωση, μοντέλο πλάσματος, αντιδραστήρας χωρητικής σύζευξης, πλάσμα ατμοσφαιρικής πίεσης
Ευρετήριο:
Ναι
Αρ. σελίδων ευρετηρίου:
2
Εικονογραφημένη:
Ναι
Αρ. βιβλιογραφικών αναφορών:
67
Αριθμός σελίδων:
67